Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов. Т. 1
Тематика: нанотехнологии
Книжная серия: Нанотехнологии
Тип издания: печатное издание
Первый год издания: 2010
Формат: 60x90/16 (в пер.)
Страниц: 392
ISBN: 978-5-9963-0335-9
УДК: 621.3
ББК: 32.844.1я73
Номер тома: 1
Вид издания: учебное издание
Изложены физико-химические основы технологии микроэлектроники. Дана классификация технологических процессов. Сформулированы критерии, определяющие характер их протекания и качество изделий. Особое внимание уделено процессам эпитаксии, получения тонких пленок, сварки и пайки, механической обработки, очистки поверхности материалов, а также легирования, модифицирования и фотолитографии. Рассмотрены механизмы воздействия электрических полей и излучений на некоторые из этих процессов. Разделение книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, при этом каждый из томов может представлять вполне самостоятельный интерес.
Для студентов, изучающих технологию микроэлектроники и радиотехнических микроэлектронных устройств, аспирантов и специалистов.
Тираж закончился
1 - Навигация в электронном издании работает частично в зависимости от размера фрагмента.
Назад в раздел
