Физические основы кремниевой наноэлектроники : учебное пособие для вузов
Печатное/электронное издание книги
Библиографическое описание книги
Автор, составитель, редактор: Зебрев Г. И.
Тематика: нанотехнологии
Книжная серия: Нанотехнологии
Тип издания: печатное издание
Первый год издания: 2011
Формат: 60x90/16 (в пер.)
Страниц: 240
ISBN: 978-5-9963-0181-2
УДК: 121.382(075)+620.3(075)
ББК: 32.85я73
Вид издания: учебное издание
Тематика: нанотехнологии
Книжная серия: Нанотехнологии
Тип издания: печатное издание
Первый год издания: 2011
Формат: 60x90/16 (в пер.)
Страниц: 240
ISBN: 978-5-9963-0181-2
УДК: 121.382(075)+620.3(075)
ББК: 32.85я73
Вид издания: учебное издание
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.
Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
1 - Навигация в электронном издании работает частично в зависимости от размера фрагмента.
Назад в раздел
2024 © Издательство «Лаборатория знаний» 