Громов Д. Г.

Дмитрий Геннадьевич Громов

Доктор технических наук, профессор кафедры «Материалы и процессы твердотельной электроники» Московского государственного института электронной техники (МИЭТ). Научные интересы: технология тонких пленок и их свойства, нанотехнологии, твердофазное взаимодействие, поверхностные явления, фазовые переходы, системы металлизации интегральных схем. Автор 100 научных публикаций.

• Металлизация ультрабольших интегральных схем : учебное пособие