Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : в 2 ч. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование (ЭИ)
Печатное/электронное издание книги
Библиографическое описание книги
Автор, составитель, редактор: Королев М. А. / Крупкина Т. Ю. / Ревелева М. А.
Тематика: инженерные дисциплины
Тип издания: электронное издание
Первый год издания: 2020
Издание: 4-е изд. (эл.)
Формат: 125х200 мм
Страниц: 400
ISBN: 978-5-00101-814-8
ISBN доп: 978-5-00101-813-1
УДК: 621.382.049.77.002(07)
ББК: 32.852
Гриф: УМО
Номер тома: 1
Вид издания: учебное издание
Тематика: инженерные дисциплины
Тип издания: электронное издание
Первый год издания: 2020
Издание: 4-е изд. (эл.)
Формат: 125х200 мм
Страниц: 400
ISBN: 978-5-00101-814-8
ISBN доп: 978-5-00101-813-1
УДК: 621.382.049.77.002(07)
ББК: 32.852
Гриф: УМО
Номер тома: 1
Вид издания: учебное издание
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
1 - Навигация в электронном издании работает частично в зависимости от размера фрагмента.
Назад в раздел
2024 © Издательство «Лаборатория знаний» 