Данилкин Е. В.

Евгений Владимирович Данилкин

Кандидат технических наук, инженер-технолог одного из крупнейших производителей интегральных схем в Восточной Европе ОАО «НИИМЭ и Микрон». Область научных интересов: моделирование процессов ионноплазменных технологий, технологий микро- и наноэлектроники. Автор 14 публикаций.

• Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие