Мочалов А. И.

Алексей Иванович Мочалов

Кандидат технических наук, профессор кафедры «Материалы и процессы твердотельной электроники» МИЭТ. Научные интересы: технология тонких пленок, их свойства и применение, плазменные технологии, водородная энергетика, системы металлизации интегральных схем. Автор более 200 научных публикаций, более 30 изобретений и патентов.

• Металлизация ультрабольших интегральных схем : учебное пособие
• Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие