Сулимин А. Д.

Александр Дмитриевич Сулимин

Кандидат технических наук, лауреат премии Совета министров СССР, ведущий специалист ОАО «НИИМЭ и завод «Микрон». Научные интересы: многослойные гетероструктуры и их использование в высокоинтегрированных процессах микро- и наноэлектроники. Автор более 200 научных публикаций, более 100 изобретений и патентов.

• Металлизация ультрабольших интегральных схем : учебное пособие