Сергей Петрович Тимошенков
Доктор технических наук, профессор. Имеет 107 научных и учебно-методических трудов. Область научных интересов — конструирование и технология производства микроэлектромеханических приборов. Руководил рядом научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ, связанных с разработкой технологии структур «кремний на изоляторе», разработкой микроэлектромеханических акселерометров и гироскопов, датчиков давления и поворотных микрозеркал.
|