Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов. Т. 2

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий : учебное пособие для вузов. Т. 2

Библиографическое описание книги
Автор, составитель, редактор: Акуленок М. В. / Андреев В. М. / Коркишко Ю. Н.
Тематика: нанотехнологии
Серия: Нанотехнологии
Книжная серия: Нанотехнологии
Тип издания: Печатное издание
Год издания: 2011
Формат: 60x90/16 (в пер.)
Страниц: 252
ISBN: 978-5-9963-0336-6
УДК: 621.3
ББК: 32.844.1я73
Номер тома: 2
Вид издания: учебное издание

Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне cамостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии.

Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.

Другие тома: 

Фрагмент1

1 - Навигация в электронном издании работает частично в зависимости от размера фрагмента.


Назад в раздел
  
Как купить :: Контакты :: Вакансии :: Файлы издательства :: Карта сайта :: Наши партнёры :: Наши баннеры
Russian version English version
Рейтинг@Mail.ru хостинг от .masterhost